Ifaara lati jẹ aami subpurita chicper (DPC)

Ilana igbaradi ti subúra irugbin DPC ti han ninu nọmba rẹ. Ni akọkọ, a lo Leaser ti o ṣetan fun sobusitireti amọ ti o ṣogbin (iho jẹ gbogbo ọjọ 60 ~ 120 μm), ati lẹhinna a ti sọ sorowersita cramiki mọ nipasẹ awọn igbi ultrasonic; Imọ-ẹrọ magnetn Cortureting ni a lo lati fi irin sori oke ti sobusitireti oju omi. Layer Layer (Ti / CU), ati lẹhinna pari iṣelọpọ Layer Circuit nipasẹ Photolithanttography ati idagbasoke; Lo itanna lati kun awọn iho ati fẹẹrẹ fẹẹrẹ fẹẹrẹ ati imudarasi omi ti o rọrun, ati nikẹhin yọ fiimu naa lati pari igbaradi sobusitate.

Idajọ iwaju ti Igbaradi Aami-elo DPC CIMPSIC ti o pọ si iṣan-ẹrọ imudaniloju micromining (pcb. Ṣiṣẹ, bbl), awọn anfani imọ-ẹrọ jẹ kedere.

Awọn ẹya pataki pẹlu:

(1) lilo imọ-ẹrọ mimictincning mimictinclong, awọn ila irin lori sobu-malu / laini ila ~ 50 μm kan ti o ni ibatan si sisanra ti Layer Circuit) sobusitireti dara pupọ fun deede tito ẹrọ pẹlu ẹrọ iṣakopọ pẹlu awọn ibeere giga;

(2) lilo lilu ti Lasar ati imọ-ẹrọ itusilẹ iho lati ṣe aṣeyọri inaro inaro laarin awọn ẹrọ alalepo ati iwọn didun ẹrọ ti o dinku, bi o ti han ninu Nọmba 2 (b);

(3) sisanra ti Layer Circuit ni iṣakoso nipasẹ idagbasoke elekitiro (gbogbogbo 10 ~ 100 ~ 100 ~ 100 μm sisanra Layer ti o ni iwọn otutu ati awọn ẹrọ lọwọlọwọ giga;

(4) Ilana imulo iwọn otutu (ni isalẹ 300 ° C) yago fun awọn ikolu ti otutu lori awọn ohun elo subsule ati awọn fẹlẹfẹlẹ nla irin, ati tun dinku awọn idiyele iṣelọpọ. Lati akopọ, sobusitireti DPC ni awọn abuda ti deede ti iwọn giga ati inaro inaro, ati pe o jẹ sobusiti to gidi serazo gidi kan.

Sibẹsibẹ, DPC sobusiti tun ni diẹ ninu awọn kukuru:

(1) Laye Circuit Layetika ti pese nipasẹ ilana eleto, eyiti o fa idoti ti ayika pupọ;

(2) Oṣuwọn Idagba idagbasoke elekitiro lọ silẹ, ati sisanra ti Layer Circuit jẹ opin (iṣakoso gbogbogbo ni 10 ~ 100 μm), eyiti o nira lati pade awọn ibeere Ẹrọ lọwọlọwọ Pac Pac .

Ni lọwọlọwọ, awọn sobusiti ara chir-ara ti wa ni a lo nipataki ni apoti olomi agbara giga.