Ifaara si taara jẹ substrate seramiki Egbon (DBC).

Ilana sobusitireti DBC ni lati ṣafikun awọn eroja atẹgun laarin Ejò ati awọn ohun elo cu-iwọ c, ati lẹhinna tun ṣe lati gba alakoso agbedemeji 1065 Ti awo oyinbo cu ati fadaka iṣuu chiragindin, ati nikẹhin nipasẹ imọ-ẹrọ Littography lati ṣe aṣeyọri igbaradi ilana, dida Circuit kan.

Subtate compumika camumiki ti pin si awọn fẹlẹfẹlẹ 3, ati awọn ohun elo sisọnu ni aarin jẹ Al2O3 tabi ALN. Aṣiṣe igbona ti Al2O3 jẹ ojo melo 24 w / (MM K), ati adaṣe igbona ti Aln jẹ 170 w / (MEM k). Olutọju ti imugboroosi gbona ti subcutate chicutate DBC jẹ iru si Al2O3 / ALN, eyiti o le dinku wahala igbona ti ipilẹṣẹ laarin chirramiki ofifo sobusitireti.

Anfani :

Nitori petiobu Ejò ni iṣe iṣe itanna to dara ati iṣe igbona ti o dara, ati Alumina le ṣakoso imugboroosi ti Cu-Al2O3-Cu ni Alumina, DBC ni awọn anfani ti o dara Aṣiṣe igbona, idase ati igbẹkẹle giga, ati pe o ti lo ni lilo pupọ, LD ati apoti apoti CPV. Paapa nitori eefin banki ti o nipọn (100 ~ 600μm), o ti ni awọn anfani ti o han ni aaye ti IST ati apoti LD.

Ko to :

(1) Ilana igbaradi nlo ifura eutectic laarin CU ati Al2O3 ni iwọn otutu giga (1065 ° C), eyiti o nilo idiyele ti sobusule giga;

(2) Nitori iran irọrun ti awọn micropores laarin Al2o3 ati Cu awọn fẹlẹfẹlẹ nla ti igbona, ati awọn kukuru wọnyi ti di igo ti igbega DBC.

Ni ilana Igbaradi ti subcute dbc, iwọn otutu Eutectic ati akoonu atẹgun ati akoonu ifokurosẹ jẹ awọn afiwe meji pataki julọ. Lẹhin ifunṣọ banki ti a fi sọ tẹlẹ, aworan kikọ sii le di alakoso cuexoy to lati tutu Al2O3 ati bankanje, pẹlu agbara fifọ; Ti bankan banki ibanilẹru ti ko ni oxidized, ikaratẹlẹ cuxoy ko dara, ati nọmba nla ti awọn iho ati awọn abawọn nla kan yoo wa ninu wiwo ifisinu ati iṣe iṣedede. Fun igbaradi ti awọn sobusiti awọn alistrates awọn ohun elo aln, o tun ṣe pataki lati ṣe agbekalẹ awọn somori okuta pẹlẹbẹ, dagba awọn fiimu Al2o3, ati lẹhinna fesi pẹlu awọn ẹwu enju fun ifura euteeki.